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简介
本系列阀门为气动驱动方式，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中。阀门是以压缩空气推动气缸为动力，通过传动杆推（拉）动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接，完成阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。
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特点
轴封为波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；
阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；
阀体采用加强筋结构，体积小、重量轻，外形美观；
采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；
阀板内整体式结构，支撑力均匀。
主要性能指标：
外形尺寸
适用范围：1×10-7Pa～1.2×105Pa
打开时插板上的压差：≤3×103Pa任意方向
阀体和阀座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
建议维修前循环次数：10，000次
阀体烘烤温度：打开时≤200℃；关闭时≤150℃
安装位置：任意
电源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W
压缩空气（只适用于气动）
-DN 63~200：0.4～0.7MPa
-DN 250~400：0.5～0.7MPa
阀门开启或关闭时间
-气动驱动：DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s
阀门位置指示
-气动驱动：带有启闭位置指示开关（磁性开关）