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简介
本系列阀门为电磁驱动方式，在结构上设计合理，外形上美观，还具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是真空设备阀门之一。阀门是以线圈通电产生电磁力为动力，通过机构与阀板连接，并带动阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。
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特点
标准化、模块化设计，易于更换及维修；
便于清洁的设计；
电磁阀采用节能设计，体积小。
主要性能指标：
适用范围：1×10-6Pa～1.2×105Pa（波纹管密封）
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟胶圈密封）
打开时阀板上的压差：≤1.2×105Pa任意方向
阀体和阀座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
建议维修前循环次数：200，000次
阀体烘烤温度：≤150℃
安装位置：任意（波纹管密封）；密封面朝向真空（氟胶圈密封）
电源：交流220V或230V 50Hz，起动功率800W、保持功率8W
阀门开启和关闭时间：开启≤0.1s；关闭≤1s（氟胶圈密封）、关闭≤0.5s（波纹管密封）
阀门位置指示：带有开启位置指示灯
阀门重量、订货号：见上表